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便携式紫外线强度仪应用范围紫外光源、以及大规模集成电路光刻等领域的紫外辐照度测量工作

2025-10-31

便携式紫外线强度仪应用范围紫外光源、以及大规模集成电路光刻等领域的紫外辐照度测量工作

1.波长范围及峰值波长:(以下两种选其一) 
(1)UV-420探头:(375~475)nm;λP≥420nm 
(2)UV-365探头:(320~400)nm;λP≥365nm
2.辐照度测量范围: (0.1~200000) μW/cm2
3.相对示值误差:≤±8% 
4.余弦特性(方向性响应)误差:≤10% 
5.线性误差:≤±1.5% 
6.换档误差:≤±1% 
7.短期不稳定性:≤±1%(开机 30min 后) 
8.疲劳误差:≤3% 
9.零值误差(满量程 FS):≤±1% 
10.响应时间:≤1 秒 
11.使用环境: 温度(0~40)℃,湿度≤85%RH 
12.尺寸和重量:≤160mm×78mm×43mm;≤0.2kg 
13.整机功耗 ≤0.1VA

产品介绍

UV-A型紫外辐照计采用SMT贴片技术,选用高精度低功耗数字芯片,仪器外壳为流线型设计,探测器经过严格的光谱及角度特性校正,性能稳定,适用性强。适用于光化学、高分子材料老化、紫外光源、以及大规模集成电路光刻等领域的紫外辐照度测量工作。

性能特点

1、光谱及角度特性经严格校正

2、数字液晶显示,带背光

3、手动/自动量程切换

4、数字输出接口(USB,冗余供电)

5、低电量提醒

6、自动延时关机

7、有数字保持

8、轻触按键操作,蜂鸣提示

技术参数

项目 

参数(探头二选一,单通道

波长范围λ1,峰值波长λp

320~400)nm,λP365nm

波长范围λ2,峰值波长λp

375~475)nm,λP420nm

辐照度测量范围

(0.1~199.9×103) μW/cm2

紫外带外区杂光

0.02%

相对示值误差

±8%(相对于NIM标准)

角度响应特性

±5% (α≤10°)

线性误差

±1%

换档误差

±1%

短期不稳定性

±1%(开机30min后)

疲劳特性

衰减量<2%

零值误差

满量程的±1%

响应时间

<1秒

使用环境

温度(0~40)℃;湿度<85%RH

尺寸和重量

160mm×78mm×43mm;0.2kg

电源

6F22型9V积层电池(非充电电池)

整机功耗

0.1VA

配置清单

主机、365或420探头二选一、数据线、探头盖、说明书、9V电池等